一种真空镀膜机系统及其操作方法-尊龙凯时官方app下载

文档序号:9781248阅读:998来源:国知局
一种真空镀膜机系统及其操作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空镀膜机领域,特别涉及一种真空镀膜机系统的操作方法。
【背景技术】
[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点一岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。
[0004]现有技术中的溅射类镀膜机多为人工操控,智能化较低,在机器工作过程中无法检测产品质量,和各项生产过程中的工作状态,精确度较低,人为操作易产生指标误差,效率较低,人工成本高,生产质量无法把控,易出现不合格产品。

【发明内容】

[0005]本发明所要解决的技术问题是提供一种真空镀膜机系统的操作方法,以解决现有技术中导致的上述现有技术中的溅射类镀膜机多为人工操控,智能化较低,在机器工作过程中无法检测产品质量,和各项生产过程中的工作状态,精确度较低,人为操作易产生指标误差,效率较低,人工成本高,生产质量无法把控,易出现不合格产品的缺陷。
[0006]为实现上述目的,本发明提供以下的技术方案:一种真空镀膜机系统,包括抽气系统、镀膜电源、控制部分和真空室体,所述镀膜电源和抽气系统均与真空室体相连接,控制部分和抽气系统均与镀膜电源相连接,且抽气系统、镀膜电源和真空室体均受控制部分的控制,控制部分包括控制系统、存储器、控制面板,且控制系统与控制面板相连接且控制面板与存储器相连接,抽气系统包括扩散栗、维持栗、罗茨栗、第一粗抽栗和第二粗抽栗,真空室体与扩散栗相连接,真空室体与扩散栗的连接处设有放气阀,扩散栗的顶部设有精抽阀,扩散栗的顶部与罗茨栗相连接,扩散栗与罗茨栗的连接处设有粗抽阀,扩散栗的底部与维持栗相连接,维持栗上部设有维持阀,且罗茨栗与维持栗相连接,罗茨栗与维持栗的连接处设有前置阀,罗兹栗分别与第一粗抽栗和第二粗抽栗相连接。
[0007]优选的,所述控制面板包括控制按钮、系统缩略图和参数显示控制界面,其中控制按钮包括自动抽气按钮、自动镀膜按钮、自动放气按钮、自动关机按钮、开机预热按钮和放气结束按钮。
[0008]优选的,所述系统缩略图上设有故障显示部分。
[0009]—种真空镀膜机系统的操作方法,其步骤主要有:
[0010](i)开机预热,开启镀膜电源,在控制面板选择开机预热按钮,为抽气系统、控制部分和真空室体提供电能,控制系统自动检测真空室体内部气压和水压,控制系统控制维持栗开启,并打开维持阀,当真空室内的真空度达到启动扩散栗真空度时,控制系统自动控制扩散栗启动,进行开机预热;
[0011](2)自动抽气,在控制面板选择自动抽气按钮,关闭真空室体的门后,控制系统延迟3秒控制第一粗抽栗和第二粗抽栗启动,并打开粗抽阀,当真空室内的真空度达到罗茨真空度时,控制系统自动启动罗茨栗,真空度达到精抽真空度时,控制系统自动控制第一粗抽栗和第二粗抽栗关闭,打开前置阀和精抽阀,进行自动抽气;
[0012](3)自动镀膜,在控制面板选择自动镀膜按钮,在自动抽气完成后,真空度达到启动镀膜真空度时,会自动按照工艺界面里预先设定的工艺步骤自动运行,如果不选取将不会运行;
[0013](4)自动放气,在控制面板选择自动放气按钮,当工艺运行结束后会自动关闭精抽阀、前置阀、罗茨栗、第一粗抽栗和第二粗抽栗,然后打开放气阀;
[0014](5)自动关机,在控制面板选择自动关机按钮,当放气结束后会自动关闭扩散栗,然后按照参数设置里的自动关机时间等待,当时间自动关机时间结束,自动关闭维持阀,然后关闭维持栗,实现自动断电。
[0015]优选的,所述启动扩散栗真空度、罗茨真空度、精抽真空度、工艺步骤和自动关机时间均可以通过参数显示控制界面进行预先设置。
[0016]优选的,所述参数显示控制界面与存储器相连接。
[0017]优选的,所述步骤(3)的镀膜过程中可以随时在任意情况下在控制面板上选择放气结束按钮,这时会控制系统自动控制放气阀打开,即进入步骤(4)。
[0018]优选的,所述步骤(4)之后,按照需要重复步骤(2)、步骤(3)和步骤(4)。
[0019]采用以上技术方案的有益效果是:本发明方便增加可编辑工艺,可进行全自动运行,进行各项流程的单独或多项,可调换操作,多项指标数值可进行设定,在工作过程中,如出现机器故障或错误操作,系统会及时报警并指示正确方案部分问题系统会智能解决,提供重要部件的自我保护,且增加记忆存储修改的功能,存储后可一键操作。智能操作,智能保护与维护检测,提高产品质量,节约人工成本,增加工作效率,提供系统报警异常,可及时修复与维护可多种工艺编辑储存及修改,可单独操做或自动操作。
【附图说明】
[0020]图1是本发明中一种真空镀膜机系统的结构示意图;
[0021 ]图2是本发明中操作方法的操作流程图;
[0022]图3是本发明中抽气系统的结构示意图;
[0023]图4是本发明中控制面板的结构示意图;
[0024]其中,1-真空室体、2-放气阀、3-精抽阀、4-前置阀、5-粗抽阀、6-扩散栗、7-罗茨栗、8-维持栗、9-第一粗抽栗、10-第二粗抽栗、11-维持阀、12-参数显示控制界面、13-控制按钮、14-故障显示部分、15-系统缩略图、131-自动抽气按钮、132-自动镀膜按钮、133-自动放气按钮、134-自动关机按钮、135-开机预热按钮、136-放气结束按钮。
【具体实施方式】
[0025]下面结合附图详细说明本发明的优选实施方式。
[0026]图1至图4出示本发明的【具体实施方式】:一种真空镀膜机系统,包括抽气系统、镀膜电源、控制部分和真空室体i,所述镀膜电源和抽气系统均与真空室体i相连接,控制部分和抽气系统均与镀膜电源相连接,且抽气系统、镀膜电源和真空室体i均受控制部分的控制,控制部分包括控制系统、存储器、控制面板,且控制系统与控制面板相连接且控制面板与存储器相连接,抽气系统包括扩散栗6、维持栗8、罗茨栗7、第一粗抽栗9和第二粗抽栗10,真空室体i与扩散栗6相连接,真空室体i与扩散栗6的连接处设有放气阀2,扩散栗6的顶部设有精抽阀3,扩散栗6的顶部与罗茨栗7相连接,扩散栗6与罗茨栗7的连接处设有粗抽阀5,扩散栗6的底部与维持栗8相连接,维持栗8上部设有维持阀11,且罗茨栗7与维持栗8相连接,罗茨栗7与维持栗8的连接处设有前置阀4,罗兹栗分别与第一粗抽栗9和第二粗抽栗10相连接。
[0027]在本发明中,所述控制面板包括控制按钮13、系统缩略图15和参数显示控制界面12,其中控制按钮13包括自动抽气按钮131、自动镀膜按钮132、自动放气按钮133、自动关机按钮134、开机预热按钮135和放气结束按钮136。
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