带树脂膜的单片化工件加工物的制造方法与流程-尊龙凯时官方app下载

文档序号:36175671发布日期:2023-11-25 01:52阅读:来源:国知局

技术特征:
1.
一种带树脂膜的单片化工件加工物的制造方法,具备:层叠工序,在具有电路面的工件的电路面的相反侧的面上

或者在通过对所述工件进行加工而得到的工件加工物的电路面的相反侧的面上层叠能量束固化性的树脂膜形成膜而形成层叠体;以及固化工序,对所述层叠体的所述树脂膜形成膜照射能量束而形成树脂膜,所述制造方法通过在线处理来执行:从所述层叠工序到所述固化工序
。2.
一种带树脂膜的单片化工件加工物的制造方法,具备:加工工序,通过对具有电路面的工件的要进行单片化的部位进行改性层加工或者半切割加工,从而形成工件加工物;磨削工序,对进行了改性层加工或者半切割加工的所述工件加工物的所述电路面的相反侧的面进行磨削;层叠工序,在所述工件加工物的电路面的相反侧的面上层叠能量束固化性的树脂膜形成膜,形成层叠有所述工件加工物及所述树脂膜形成膜的层叠体;以及固化工序,对所述层叠体的所述树脂膜形成膜照射能量束而形成树脂膜,所述制造方法通过在线处理来执行:从所述层叠工序到所述固化工序
。3.
一种带树脂膜的单片化工件加工物的制造方法,具备:粘贴工序,在支撑片上形成依次具备能量束固化性的树脂膜形成膜

以及具有电路面的工件

或者通过对所述工件进行加工而得到的工件加工物的层叠体;以及固化工序,对所述树脂膜形成膜照射能量束而形成树脂膜,所述制造方法通过在线处理来执行:从所述粘贴工序到所述固化工序
。4.
根据权利要求3所述的带树脂膜的单片化工件加工物的制造方法,其特征在于,依次具备:粘贴工序,在支撑片上形成依次具备所述树脂膜形成膜以及所述工件加工物的层叠体;固化工序,对所述树脂膜形成膜照射能量束而形成树脂膜;以及扩张工序,对所述支撑片进行扩张,所述制造方法通过在线处理来执行:从所述固化工序到所述扩张工序
。5.
根据权利要求3或4所述的带树脂膜的单片化工件加工物的制造方法,其特征在于,具备:层叠工序,在具有电路面的工件的电路面的相反侧的面上

或者在通过对所述工件进行加工而得到的工件加工物的电路面的相反侧的面上层叠能量束固化性的树脂膜形成膜而形成层叠体;以及所述粘贴工序,在所述层叠工序之后,所述支撑片是在基材上具有粘接剂层的粘接片
。6.
一种带树脂膜的单片化工件加工物的制造装置,具备:层叠单元,其在具有电路面的工件的电路面的相反侧的面上

或者在通过对所述工件进行加工而得到的工件加工物的电路面的相反侧的面上层叠能量束固化性的树脂膜形成膜而形成层叠体;以及固化单元,其对所述层叠体的所述树脂膜形成膜照射能量束而形成树脂膜,
所述制造装置通过在线处理来执行:从所述层叠单元到所述固化单元
。7.
一种带树脂膜的单片化工件加工物的制造装置,具备:磨削单元,其对具有电路面且进行了改性层加工或者半切割加工的工件加工物的电路面的相反侧的面进行磨削;层叠单元,其在所述工件加工物的电路面的相反侧的面上层叠能量束固化性的树脂膜形成膜,形成层叠有所述工件加工物及所述树脂膜形成膜的层叠体;以及固化单元,其对所述层叠体的所述树脂膜形成膜照射能量束而形成树脂膜,所述制造装置通过在线处理来执行:从所述磨削单元到所述固化单元
。8.
一种带树脂膜的单片化工件加工物的制造装置,具备:粘贴单元,其在支撑片上形成依次具备能量束固化性的树脂膜形成膜

以及具有电路面的工件

或者通过对所述工件进行加工而得到的工件加工物的层叠体;以及固化单元,其对所述树脂膜形成膜照射能量束而形成树脂膜,所述制造装置通过在线处理来执行:从所述粘贴单元到所述固化单元
。9.
根据权利要求8所述的带树脂膜的单片化工件加工物的制造装置,其特征在于,依次具备:粘贴单元,其在支撑片上形成依次具备所述树脂膜形成膜以及所述工件加工物的层叠体;固化工序,对所述树脂膜形成膜照射能量束而形成树脂膜;以及扩张单元,其对所述支撑片进行扩张,所述制造装置通过在线处理来执行:从所述固化单元到所述扩张单元


技术总结
本发明提供一种带树脂膜的单片化工件加工物


技术研发人员:根本拓 加太章生
受保护的技术使用者:琳得科株式会社
技术研发日:2022.03.29
技术公布日:2023/11/24
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