带树脂膜的单片化工件加工物的制造方法与流程-尊龙凯时官方app下载

带树脂膜的单片化工件加工物的制造方法与流程技术资料下载

技术编号:36175671

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带树脂膜的单片化工件加工物的制造方法、以及带树脂膜的单片化工件加工物的制造装置技术领域.本发明涉及一种带树脂膜的单片化工件加工物的制造方法、以及带树脂膜的单片化工件加工物的制造装置。具体而言,涉及一种在半导体芯片等工件加工物的电路面的相反侧的面上形成有树脂膜的、带树脂膜的单片化工件加工物的制造方法、以及带树脂膜的单片化工件加工物的制造装置。本申请基于年月日在日本申请的特愿-号要求优先权,在此引用其内容。背景技术.在半导体装置的制造过程中,有时会处理在半导体芯...
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