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真空泵的制作方法技术资料下载

技术编号:37160903

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本发明涉及作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置中的工艺腔以及其他腔的气体排气机构被利用的真空泵、其装配方法及用于其装配的夹具,特别地,是适于真空泵装配作业的支援的技术。背景技术、以往,作为这种真空泵,例如已知专利文献中记载的真空泵。该文献的真空泵具备交替地配置有静翼()和动翼()的构造的涡轮级。、但是,根据具备专利文献那样的涡轮级的以往的真空泵,其构造上静翼()位于在上下方向相邻的动翼()之间,所以真空泵装配作业、特别是使静翼()位于动翼()间的作业时,...
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