一种用于大直径硅片分割的夹具的制作方法-尊龙凯时官方app下载

一种用于大直径硅片分割的夹具的制作方法技术资料下载

技术编号:37161267

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本发明涉及大直径硅片分割设备,具体涉及一种用于大直径硅片分割的夹具。背景技术、一般来说,使用单晶生长设备,采用直拉法进行硅单晶的生长。经过冷却后,会使用到截断机以及滚磨机,对单晶晶棒进行切割滚磨作业,然后再进行晶圆片或硅部件的制作。、对单晶而言,其内部的微观缺陷以及电性能的指标,是决定单晶是否合格的依据。一般情况下,单晶生长完成后,经过截断机的分段处理,会在整根单晶的头部、分段部位、尾部部位,各截取一片,以进行电性能及微观缺陷的检测,参数合格才可进行后道工序的制作。、目前,光伏行业及硅部件...
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