晶圆输送机械手的制作方法-尊龙凯时官方app下载

晶圆输送机械手的制作方法技术资料下载

技术编号:37196775

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本技术涉及晶圆上料,尤其涉及一种晶圆输送机械手。背景技术、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆。晶圆在制作硅半导体电路时,需要将晶圆周转至需求的位置,以便于后续对晶圆的划片、检测等。因此,针对如何周转晶圆的问题,有必要提出进一步的尊龙凯时官方app下载的解决方案。技术实现思路、本实用新型的目的在于提供一种晶圆输送机械手,以克服现有技术中存在的不足。、为实现上述实用新型目的...
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